(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210788633.8 (22)申请日 2022.07.06 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114864454 A (43)申请公布日 2022.08.05 (73)专利权人 江苏京创先进电子科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市 常熟市经济技 术开发区海 城路2号9幢 (72)发明人 孙志超　高阳　葛凡　尹冰涛　 于光明　刘炳先　张天华　吕孝袁　 (74)专利代理 机构 南京艾普利德知识产权代理 事务所 (特殊普通合伙) 32297 专利代理师 顾祥安(51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) H01L 21/304(2006.01) B08B 3/02(2006.01) (56)对比文件 CN 209397467 U,2019.09.17 CN 209397467 U,2019.09.17 CN 112090208 A,2020.12.18 CN 103628252 A,2014.0 3.12 审查员 张斌 (54)发明名称 喷液角度可调的喷液块及划片机 (57)摘要 本发明揭示了喷液角度可调的喷液块及划 片机， 其中喷液块包括主体， 主体上形成有第一 进液通道及第一喷液通道， 主体上还 形成连通第 一进液通道和第一喷液通道的圆柱 通道， 圆柱通 道中共轴且 可自转地设置有调节件， 调节件包括 内腔、 连通内腔和第一进液通道的进液口以及连 通内腔和第一喷液通道的出液口， 调节件自转过 程中使所述出液口朝向第一喷液通道的出口端 的不同位置。 本发明通过在圆柱 通道内设置调节 件， 在调节件转动时， 使其出液口朝向第一喷液 通道的出口端的不同位置， 可以灵活地调整出水 角度， 能够方便地根据不同尺 寸的晶圆的加工需 要进行出水角度的调整， 从而保证清洁的质量。 权利要求书1页 说明书6页 附图9页 CN 114864454 B 2022.10.14 CN 114864454 B 1.喷液角度可调的喷液块， 包括主体， 所述主体上形成有第一进液通道及第一喷液通 道， 其特征在于： 所述主体上还形成连通所述第一进 液通道和 第一喷液通道的圆柱通道， 所 述圆柱通道的至少一端延伸到所述主体的表面， 所述圆柱通道的轴线与所述第一喷液通道 的中心线垂 直， 定义所述圆柱通道的轴线的延伸方向为X轴方向， 所述第一喷液通道的中心 线的延伸方向为Y轴方向， 与所述X轴 方向和Y轴方向均垂直的方向为Z轴方向； 所述圆柱通 道中共轴且可自转地设置有调节件， 所述调节件包括内腔、 连通所述内腔和所述第一进液 通道的进 液口以及连通所述内腔和 第一喷液通道的出液口； 所述调节件自转过程中使 所述 出液口朝向所述第一喷液通道的出口端在Z轴方向上的不同位置； 所述主体上还设置有第 二喷液通道， 所述第 二喷液通道的出液端与 所述第一喷液通道 的出口端位于所述主体的同一侧且第二喷液通道的出液端和第一喷液通道的出口端在所 述Z轴方向上保持间距， 所述第二喷液通道与所述主体上的第二进 液通道和/或所述第一进 液通道连通； 所述第二喷液通道包括多个沿Z轴方向分布的小孔， 多个所述小孔的轴线相交 于所述主体外的一 点以使它 们喷出的液体集中于一处。 2.根据权利要求1所述的喷液角度可调的喷液块， 其特征在于： 定义所述出液口的轴 线 沿Y轴方向延伸时， 所述调节件处于零度位置； 工作时， 使所述调节件由零度位置顺时针或 逆时针转动2 ‑8度。 3.根据权利要求1所述的喷液角度可调的喷液块， 其特征在于： 所述第 一喷液通道为一 排沿X轴方向间隙分布的条形孔， 所述出液口为一排与所述条形孔一一对应的圆孔， 所述圆 孔的直径不超过 所述条形孔沿Z轴方向延伸的长度的一半。 4.根据权利要求3所述的喷液角度可调的喷液块， 其特征在于： 所述圆孔的轴线沿Y轴 方向延伸时， 所述圆孔的轴线与所述条形孔的中心线在Z轴 方向的距离不小于所述圆孔的 半径， 且所述第一喷液通道沿Z轴方向延伸的长度满足如下公式： h=x*tan8°+2D 其中， h为所述第一喷液通道沿Z轴方向延伸的长度， x为所述圆柱通道的轴线到所述第 一喷液通道的出口端的距离； D为所述圆孔的直径。 5.根据权利要求3所述的喷液角度可调的喷液块， 其特征在于： 所述调节件为一组， 每 个所述调节件上的圆孔的孔径不同于其 他调节件上的圆孔的孔径。 6.根据权利要求1所述的喷液角度可调的喷液块， 其特征在于： 所述调节件的外端面处 设置有伸出到所述主体外 部的调节操作部或所述调节件的外端面处 凹设有调节操作槽 。 7.根据权利要求1所述的喷液角度可调的喷液块， 其特征在于： 所述调节件的外端面设 置有刻度指针， 所述主体的侧面设置有与所述刻度指针匹配的角度刻度。 8.根据权利要求1所述的喷液角度可调的喷液块， 其特征在于： 所述进液口为沿所述调 节件的轴向延伸的长条口。 9.划片机， 其特 征在于： 包括如权利要求1 ‑8任一所述的喷液角度可调的喷液块。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114864454 B 2喷液角度可调的喷液块及划片机 技术领域 [0001]本发明涉及半导体加工领域， 尤其是用于划片机的喷液角度可调的喷液块及划片 机。 背景技术 [0002]喷水块是划片机中用于向晶圆进行喷水的部件， 如附图1所示， 现有的喷水块是通 过其主体下方的一排出水孔向晶圆喷水。 这种结构中， 出水孔的喷液角度是固定的， 无法进 行调整。 [0003]而在进行不 同尺寸的晶圆加工时， 所需要的喷水角 度是不同的， 由于现有喷水块 的出水孔不能调整喷液角度， 因此需要更换不同的喷水块或者通过调整 所述喷水块的安装 位置来满足相应的喷水需要。 发明内容 [0004]本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题， 提供一种喷液角度可调 的喷液块及划片机 。 [0005]本发明的目的通过以下技 术方案来实现： [0006]喷液角度可调的喷液块， 包括主体， 所述主体上形成有第一进液通道及第一喷液 通道， 所述主体上还形成连通所述第一进液通道和第一喷液通道的圆柱通道， 所述圆柱通 道的至少一端延伸到所述主体的表面， 所述圆柱 通道的轴线与所述第一喷液通道的中心线 垂直， 定义所述圆柱通道的轴线的延伸方向为X轴方向， 所述第一喷液通道的中心线的延伸 方向为Y轴方向， 与所述X轴方向和Y轴方向均垂直的方向为Z轴方向； 所述圆柱通道中共轴 且可自转地设置有调节件， 所述调节件包括内腔、 连通所述内腔和所述第一进液通道的进 液口以及连通所述内腔和 第一喷液通道的出液口， 所述调节件自转过程中使 所述出液口朝 向所述第一喷液通道的出口端在Z轴方向上的不同位置 。 [0007]优选的， 定义所述出液口的轴线沿Y轴方向延伸时， 所述调节件处于零度位置； 工 作时， 使所述调节件由零度位置顺时针或逆时针转动2 ‑8度。 [0008]优选的， 所述第一喷液通道为一排沿X轴方向间隙分布的条形孔， 所述出液口为一 排与所述条形孔一一对应的圆孔， 所述圆孔的直径不超过所述条形孔沿Z轴方向延伸的长 度的一半。 [0009]优选的， 所述圆孔的轴线沿Y轴方向延伸时， 所述圆孔的轴线与所述条形孔的中心 线在Z轴方向的距离不小于所述圆孔的半径， 且所述第一喷液通道沿Z轴方向延伸的长度满 足如下公式： [0010]h=x*tan8°+2D [0011]其中， h为所述第一喷液通道沿Z轴方向延伸的长度， x为所述圆柱通道的轴线到所 述第一喷液通道的出口端的距离； D为所述圆孔的直径。 [0012]优选的， 所述调节件为一组， 每个所述调节件上的圆孔的孔径不 同于其他调节件说　明　书 1/6 页 3 CN 114864454 B 3