(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221166356.9 (22)申请日 2022.05.16 (73)专利权人 新疆贤安 新材料有限公司 地址 832000 新疆维吾尔自治区石河子市 开发区化工新材料产业园纬六路16- 35号综合楼 208室 (72)发明人 柴等朋　叶慧慧　郝小平　李康勤　 (74)专利代理 机构 重庆纵义天泽知识产权代理 事务所(普通 合伙) 50272 专利代理师 舒梦来 (51)Int.Cl. B62B 3/10(2006.01) B62B 3/02(2006.01) B62B 3/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种硅晶圆棒自动取棒 运输设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种硅晶圆棒自动取棒 运输设备， 属于硅晶棒生产技术领域， 包括推车， 所述推车的顶部一侧固定安装有两个枕块， 所述 推车的顶部固定安装有位于两个所述枕块之间 的直线电机， 所述直线电机的顶部固定连接有立 板， 所述立板的内壁滑动连接有滑块， 所述立板 的顶部固定连接有第一电机， 所述第一电机的输 出轴固定有与滑块螺纹连接的螺杆， 所述滑块靠 近枕块的一侧设置有取料件， 所述滑 块的另一侧 固定有转向件。 该硅晶圆棒自动取棒运输设备， 通过设置 取料件， 使用者可以通过取料件卡住生 产完毕的硅晶棒， 同时设置转向件， 使用者可 以 通过转向件 带动取料件进行转动， 便于使用人员 经硅晶棒放置到枕块上， 能够有效增加生产效 率。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217456075 U 2022.09.20 CN 217456075 U 1.一种硅晶圆棒自动取棒运输设备， 包括推车 （1） ， 其特征在于， 所述推车 （1） 的顶部一 侧固定安装有两个枕块 （2） ， 所述推车 （1） 的顶部固定安装有位于两个所述枕块 （2） 之间的 直线电机 （3） ， 所述直线电机 （3） 的顶部固定连接有立板 （4） ， 所述立板 （4） 的内壁滑动连接 有滑块 （5） ， 所述立板 （4） 的顶部固定连接有第一电机 （6） ， 所述第一电机 （6） 的输出轴固定 有与滑块 （5） 螺纹连接的螺杆 （61） ， 所述滑块 （5） 靠近枕块 （2） 的一侧设置有取料件 （7） ， 所 述滑块 （5） 的另一侧固定有转向件 （8） 。 2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆棒自动取棒运输设备， 其特征在于， 所述枕块 （2） 的上表面 开设有多个枕槽 （21） 。 3.根据权利要求1所述的一种硅晶圆棒自动取棒运输设备， 其特征在于， 所述取料件 （7） 包括安装板 （71） 、 固定在安装板 （71） 一侧的液压杆 （72） 和固定安装在液压杆 （72） 顶部 的卡杆 （73） ， 所述 安装板 （71） 侧面顶部固定有与卡杆 （73） 配合的底板 （74） 。 4.根据权利要求3所述的一种硅晶圆棒自动取棒运输设备， 其特征在于， 所述卡杆 （73） 远离安装板 （71） 的一侧开设有卡槽 。 5.根据权利要求3所述的一种硅晶圆棒自动取棒运输设备， 其特征在于， 所述底板 （74） 上表面中部开设有弧形槽 （741） ， 所述底板 （74） 的底部开设有与弧形槽 （741） 连通的卡孔 （742） 。 6.根据权利要求3所述的一种硅晶圆棒自动取棒运输设备， 其特征在于， 所述转向件 （8） 包括固定在滑 块 （5） 一侧的第二电机 （81） 、 固定安装在第二电机 （81） 输出轴顶部的蜗杆 （82） 和与蜗杆 （82） 啮合的蜗轮 （83） ， 所述蜗轮 （83） 侧面中部固定有传动轴 （84） ， 所述传动 轴 （84） 与滑块 （5） 转动连接， 且传动轴 （84） 的一端贯 穿滑块 （5） 与安装板 （71） 固定连接 。 7.根据权利要求3所述的一种硅晶圆棒自动取棒运输设备， 其特征在于， 所述卡杆 （73） 的底部开设有倾 斜面。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217456075 U 2一种硅晶圆棒自动取棒 运输设备 技术领域 [0001]本实用新型属于硅晶棒生产技术领域， 尤其涉及一种硅晶圆棒自动取棒运输设 备。 背景技术 [0002]单晶硅通常指的是硅原子 的一种排列形式形成的物质。 当熔融的单质硅凝固时， 硅原子以金刚石晶格排列成晶核， 其晶核长成晶面取向相同的晶粒， 形成单晶硅。 单晶硅生 产需要使用单晶硅生产炉生产硅晶棒。 [0003]在单晶炉生产硅 晶完硅晶棒之后， 硅 晶棒就会停留在单晶炉的副室内部,由于硅 晶棒体积和质量较大， 使得生产人员取下硅晶棒时极为不易， 尤其是会浪费很多时间， 这极 大增加了单晶炉空 闲时间， 降低了单晶棒 生产效率。 [0004]为此， 我们提出来 一种硅晶圆棒自动取棒 运输设备解决上述问题。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的是为了解决现有技术中， 操作人员取下硅晶棒不便导致浪费时 间较多的问题， 而提出的一种硅晶圆棒自动取棒 运输设备。 [0006]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0007]一种硅晶圆棒自动取棒运输设备， 包括推车， 所述推车的顶部一侧固定安装有两 个枕块， 所述推车 的顶部固定安装有位于两个所述枕块之间的直线电机， 所述直线电机的 顶部固定连接有立板， 所述立板的内壁滑动连接有滑块， 所述立板的顶部固定连接有第一 电机， 所述第一电机的输出轴固定有与滑块螺纹连接的螺杆， 所述滑块靠近枕块的一侧设 置有取料件， 所述滑块的另一侧固定有转向件。 [0008]通过在推车上设置取料件， 使用者可以通过取料件卡住生产完毕的硅 晶棒， 同时 使用者可以通过取料件带动硅晶棒进行上下移动， 同时设置转向件， 使用者可以通过转向 件带动取料件进行转动， 然后取料件就能够带动硅晶棒水平设置， 便于使用人员经硅晶棒 放置到枕块上， 以此快速地将单 晶炉副室内部的硅晶棒取下并放置到推车上进行运输， 能 够有效增 加生产效率。 [0009]优选的， 所述枕块的上表面 开设有多个枕槽 。 [0010]通过设置枕槽， 便于使用者通过枕槽卡住单晶棒， 以此有效保证单晶棒稳定 的卡 在枕块上。 [0011]优选的， 所述取料件包括安装板、 固定在安装板一侧的液压杆和固定安装在液压 杆顶部的卡杆， 所述 安装板侧面顶部固定有与卡杆配合的底板 。 [0012]通过设置取料件， 使用者可以通过液压杆带动卡杆进行移动， 然后卡杆和底板就 会卡住单 晶棒， 此时操作人员就可以通过控制安装板的移动带动单 晶棒进行移动， 便于操 作人员取 下单晶棒。 [0013]优选的， 所述 卡杆远离安装板的一侧开设有卡槽 。说　明　书 1/3 页 3 CN 217456075 U 3