(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221760835.3 (22)申请日 2022.07.08 (73)专利权人 江苏天兴环保股份有限公司 地址 213000 江苏省常州市武进区雪堰镇 漕桥工业 集中区园区路10号 (72)发明人 潘兴良　仲蕾　潘政宇　蒋平　 胥志伟　 (74)专利代理 机构 安徽宏铎知识产权代理事务 所(普通合伙) 3425 0 专利代理师 菅秀君 (51)Int.Cl. B01D 46/10(2006.01) B01D 53/78(2006.01) B01D 47/06(2006.01) (54)实用新型名称 一种砷化 镓电池生产用气体过滤吸附设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种砷化镓电池生产用 气体过滤吸附设备， 属于废气处理技术领域， 包 括处理箱和砷吸收液池， 所述处理箱内部一侧设 置有初滤框， 所述处理箱内部另一侧设置有加热 板， 所述初滤框与所述加热板 之间设置有所述砷 吸收液池和碱性吸收液池， 所述处理箱顶部设置 有储液箱， 所述储液箱底部设置有监测传感器， 所述加热板之间设置有缓冲流道； 本实用新型通 过设计一个由处理箱、 滤网、 砷吸收液池、 碱性吸 收液池以及加热板等组件构成的新型废气吸附 装置， 可有效的将砷化镓加工过程中废气中的酸 性废气、 大颗粒灰尘以及砷等物质有效吸附， 避 免废气污染大气环境。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 218011675 U 2022.12.13 CN 218011675 U 1.一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备， 其特征在于： 包括处理箱(1)和砷吸收液 池(6)， 所述处理箱(1)内部一侧设置有初滤框(3)， 所述处理箱(1)内部另一侧设置有加热 板(14)， 所述初滤框(3)与所述加热板(14)之间设置有 所述砷吸收液池(6)和碱性吸收液池 (17)， 所述处理箱(1)顶部设置有储液箱(10)， 所述储液箱(10)底部设置有监测传感器 (12)， 所述加热板(14)之间设置有缓冲流道(15)。 2.根据权利要求1所述的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备， 其特征在于： 所述 初滤框(3)与所述处理箱(1)内壁密封活动连接， 所述初滤框(3)内部卡压有滤网(4)， 所述 初滤框(3)与所述砷吸 收液池(6)之间通过中转管(5)连通。 3.根据权利要求2所述的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备， 其特征在于： 所述 中转管(5)底部焊接有分流盘(9)， 所述砷吸收液池(6)与所述碱性吸收液池(17)通过所述 中转管(5)连通， 所述分流盘(9)分布内嵌在所述砷吸收液池(6)以及所述碱性吸收液池 (17)中。 4.根据权利要求3所述的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备， 其特征在于： 所述 储液箱(10)与所述处理箱(1)顶部固定安装， 所述储液箱(10)与所述砷吸收液池(6)以及所 述碱性吸收液池(17)通过管道连通， 所述监测传感器(12)上设置有砷检测传感器、 硫化物 检测传感器以及 pH检测传感器。 5.根据权利要求4所述的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备， 其特征在于： 所述 加热板(14)与所述处理箱(1)内壁焊接， 所述加热板(14)贯穿所述处理箱(1)一端配合安装 有加热机构(16)， 所述缓冲流道(15)成型于所述加热板(14)之间。 6.根据权利要求5所述的一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备， 其特征在于： 所述 初滤框(3)顶部通过螺钉固定有电磁振动机构(8)， 所述初滤框(3)底部设置有与所述处理 箱(1)外壁滑动连接的集尘板(7)， 所述处理箱(1)外部一侧底部插接有进气管(2)， 所述缓 冲流道(15)顶部连通有贯穿所述处理箱(1)顶部的排气管(13)， 所述砷吸收液池(6)和所述 碱性吸收液池(17)外壁上均插接有排液 管(11)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218011675 U 2一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设 备 技术领域 [0001]本实用新型涉及废气处理， 特别是涉及一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设 备， 属于砷化 镓加工废气处 理技术领域。 背景技术 [0002]砷化镓是一种无机化合物， 为黑灰色固体， 熔点1238℃， 它在600℃以下能在空气 中稳定存在， 并且不被非氧化性的酸侵 蚀， 砷化镓是一种重要的半导体材料， 砷化镓可以制 成电阻率比硅、 锗高3个数量级以上 的半绝缘高阻材料， 用来制作集成电路衬底、 红外探测 器、 γ光子 探测器等。 [0003]现有的砷化镓电池在生产加工时， 砷化镓晶圆需要进行切割、 打磨以及抛光等工 艺， 此过程中会使得晶圆表面的区域会和水起反应， 释放或分解出少许的As， As为剧毒物 质， 废气排 放时会污染大气。 实用新型内容 [0004]本实用新型的主 要目的是为了提供一种砷化 镓电池生产用气体过 滤吸附设备。 [0005]本实用新型的目的可以通过采用如下技 术方案达到： [0006]一种砷化镓电池生产用气体过滤吸附设备， 包括处理箱和砷吸收液池， 所述处理 箱内部一侧设置有初滤框， 所述处理箱内部另一侧设置有加热板， 所述初滤框与所述加热 板之间设置有所述砷吸收液池和碱性吸收液池， 所述处理箱顶部设置有储液箱， 所述储液 箱底部设置有监测传感器， 所述加热板之间设置有缓冲流道。 [0007]优选的， 所述初滤框与所述处理箱内壁密封活动连接， 所述初滤框内部卡压有滤 网， 所述初滤框与所述砷吸 收液池之间通过中转管 连通。 [0008]优选的， 所述中转管底部焊接有分流盘， 所述砷吸收液池与所述碱性吸收液池通 过所述中转管 连通， 所述分流盘分布内嵌在所述砷吸 收液池以及所述碱性吸 收液池中。 [0009]优选的， 所述储液箱与所述处理箱顶部固定安装， 所述储液箱与所述砷吸收液池 以及所述碱性吸收液池通过管道连通， 所述监测传感器上设置有砷检测传感器、 硫化物检 测传感器以及 pH检测传感器。 [0010]优选的， 所述加热板与所述处理箱内壁焊接， 所述加热板贯穿所述处理箱一端配 合安装有加热机构， 所述缓冲流道成型于所述加热板之间。 [0011]优选的， 所述初滤框顶部通过螺钉固定有电磁振动机构， 所述初滤框底部设置有 与所述处理箱外壁滑动连接的集尘板， 所述处理箱外部一侧底部插接有进气管， 所述缓冲 流道顶部连通有贯穿所述处理箱顶部的排气管， 所述砷吸收液池和所述碱性吸收液池外壁 上均插接有排液 管。 [0012]本实用新型的有益 技术效果： [0013]本实用新型通过设计一个由处理箱、 滤网、 砷吸收液池、 碱性吸收液池以及加热板 等组件构成的新型废气吸 附装置， 可有效的将砷化镓加工过程中废气 中的酸性废气、 大颗说　明　书 1/3 页 3 CN 218011675 U 3