(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222050632.1 (22)申请日 2022.08.01 (73)专利权人 海宁知形 科技有限公司 地址 314400 浙江省嘉兴 市海宁市海宁经 济开发区海宁大道8号9幢3层 (72)发明人 黎明　 (74)专利代理 机构 浙江永航联科专利代理有限 公司 33304 专利代理师 俞培锋 (51)Int.Cl. F16F 15/067(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于半导体晶圆盒的车载减 震装置 (57)摘要 本实用新型提供了一种用 于半导体晶圆盒 的车载减震装置。 它解决了 现有车载减震结构只 能减缓垂直方向受到的力， 不能减少水平方向受 到的力， 减震效果不佳等技术问题。 本用于半导 体晶圆盒的车载减震装置， 包括底板， 底板的四 个顶角上竖直安装有减震器一、 减震器二、 减震 器三和减震器四， 减震器一的活塞杆端部连接有 托块一， 减震器二的活塞杆端部连接有托块二， 托块一和托块二之间通过辅助杆一相连接， 减震 器三的活塞杆端部连接有托块三， 减震器四的活 塞杆端部连接有托块四， 托块三和托块四之间通 过辅助杆二相连接， 辅助杆一的中部滑动连接有 安装块一， 辅助杆二的中部滑动连接有安装块 二。 本实用新型 具有减震效果好的优点。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 218000272 U 2022.12.09 CN 218000272 U 1.一种用于半导体晶圆盒的车载减震装置,包括通过螺栓固定在车架上的底板(1)， 其 特征在于， 所述底板(1)的形状为方形， 底板(1)的四个顶角上竖直安装有减震器一(2)、 减 震器二(3)、 减震器三(4)和减震器 四(5)， 减震器一(2)、 减震器二(3)、 减震器三(4)和减震 器四(5)的活塞杆上均套设有减震弹簧(6)， 减震器一(2)的活塞杆端部连接有托块一(7)， 减震器二(3)的活塞杆端部连接有托块二(8)， 托块一(7)和托块二(8)之间通过辅助杆一 (11)相连接， 减震器三(4)的活塞 杆端部连接有托块三(9)， 减震器四(5)的活塞 杆端部连接 有托块四(10)， 托块三(9)和托块四(10)之间通过辅助杆二(12)相连接， 辅助杆一(11)的中 部滑动连接有安装块一(13)， 辅助杆二(12)的中部滑动连接有安装块二(14)， 辅助杆一 (11)和辅助杆二(12)的两端均套设有缓冲弹簧(15)， 装块一(13)和安装块二(14)上连接有 安装板(32)， 安装板(32)上安装有若干用于放置晶圆盒 的放置盒(16)， 放置盒(16)上设置 有用于将放入的 晶圆盒夹紧的夹紧机构。 2.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆盒的车载减震装置， 其特征在于， 所述夹 紧机构包括压力板(17)、 连接件一(18)、 连接件二(19)、 推杆一(20)、 推杆二(21)、 推板 (22)、 转动轴(23)、 夹板(24)和支撑弹簧(25)， 压力板(17)底部与放置盒(16)通过支 撑弹簧 (25)连接， 压力板(17)底部还与连接件一(18)的一端转动连接， 连接件一(18)的另一端转 动连接有推杆一(20)， 推杆一(20)的两端滑动连接在放置盒(16)两侧的导向滑槽一(26) 内， 推杆一(20)的上方设置有推杆二(21)， 推杆二(21)的两端滑动连接在放置盒(16)两侧 的导向滑槽二(27)内， 推杆一(20)与推板(22)的下端滑动 连接， 推杆二(21)与推板(22)的 上端滑动连接， 推板(22)中部连接有转动轴(23)， 转动轴(23)两端转动连接在放置盒(16) 两侧， 推杆二(21)还与连接件二(19)的一端转动连接， 连接件二(19)的另一端连接有夹板 (24),夹板(24)的两侧滑动连接在放置盒(16)两侧的导向滑槽三(28)内。 3.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆盒的车载减震装置， 其特征在于， 所述托 块一(7)、 托 块二(8)、 托 块三(9)和托 块四(10)的顶部具有凸起部(2 9)。 4.根据权利要求2所述的一种用于半导体晶圆盒的车载减震装置， 其特征在于， 所述放 置盒(16)的底板(1)上还竖直安装有电动推杆(30)， 且电动推杆(30)位于压力板(17)的下 方， 电动推杆(3 0)的推杆端部还连接有用于 压力板(17)向上复位的复位板(31)。 5.根据权利要求3所述的一种用于半导体晶圆盒的车载减震装置， 其特征在于， 所述凸 起部(29)的材料为橡胶。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218000272 U 2一种用于半导体晶圆盒的车载 减震装置 技术领域 [0001]本实用新型属于机械技术领域， 涉及一种车载减震装置， 特别是一种用于半导体 晶圆盒的车 载减震装置 。 背景技术 [0002]晶圆盒在半导体生产中主要起到存储晶圆片的作用， 为了简化运输和尽可能降低 被污染的风险， 芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储 存晶圆。 [0003]在搬运晶圆盒时通常会使用小车来进行运输， 而小车在行进过程中可能会受到颠 簸， 为了防止小车因为颠簸 导致晶圆盒内的 晶圆出现损伤， 就需要用到车 载减震装置 。 [0004]经检索， 如中国专利文献公开了一种车载减震结构 【申请 号： CN 202111419863.9； 公开号： CN  114033820A】 。 这种车载减震结构,包括底部连接板、 顶部连接板以及减震组件， 所述底部连接板及顶部连接板均呈矩形状， 所述底部连接板上表面四角与顶部连接板下表 面四角之间各设有一组减震组件。 每组所述减震组件均包括插拔槽座、 插板以及多个减震 弹簧。 通过本发明， 在矩形底部连接板及矩形顶部连接板的四角之 间分别设有减震组件， 每 组减震组件均包括插拔槽座、 插板以及多个减震弹簧， 多个减震弹簧实现对体积和重量较 大的设备减震。 [0005]该专利中公开的车载减震结构 虽然可以对车辆进行减震， 但是， 该车载减震结构 只能减缓垂直方向受到的力， 不能减少水平方向受到的力， 减震效果不佳， 因此， 设计出一 种用于半导体晶圆盒的车 载减震装置是很有必要的。 发明内容 [0006]本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题， 提出了一种用于半导体晶圆 盒的车载减震装置， 该 车载减震装置具有减震效果 好的特点。 [0007]本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现： 一种用于半导体晶圆盒的车载减 震装置， 包括通过螺栓固定在车架上 的底板， 其特征在于， 所述底板的形状为方形， 底板的 四个顶角上竖直安装有减震器一、 减震器二、 减震器三和减震器四， 减震器一、 减震器二、 减 震器三和减震器四的活塞杆上均套设有减震弹簧， 减震器一的活塞杆端部连接有托块一， 减震器二的活塞杆端部连接有托块二， 托块一和托块二之间通过辅助杆一相连接， 减震器 三的活塞杆端部连接有托块三， 减震器四的活塞杆端部连接有托块四， 托块三和托块四之 间通过辅助杆二相连接， 辅助杆一的中部滑动连接有安装块一， 辅助杆二的中部滑动连接 有安装块二， 辅助杆一和辅助杆二的两端均套设有缓冲弹簧， 安装块一和安装块二上连接 有安装板， 安装板上安装有若干用于放置晶圆盒的放置盒， 放置盒上设置有用于将放入的 晶圆盒夹紧的夹紧机构。 [0008]本实用新型的工作原理如下： 将晶圆盒放入放置盒， 通过夹紧机构固定住晶圆盒， 启动小车， 在小车行进 过程中受到颠 簸时， 通过底板的四个顶角上竖直安装的减震器一、 减 震器二、 减震器三和减震器四以及 减震器一、 减震器二、 减震器三和减震器四的活塞杆上套说　明　书 1/3 页 3 CN 218000272 U 3