(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221818721.X (22)申请日 2022.07.14 (73)专利权人 常州顺钿精密科技有限公司 地址 213031 江苏省常州市新北区信息大 道6号 (72)发明人 徐仲高　 (74)专利代理 机构 合肥锦辉利标专利代理事务 所(普通合伙) 34210 专利代理师 陈道升 (51)Int.Cl. F26B 5/08(2006.01) F26B 21/00(2006.01) F26B 25/18(2006.01) F26B 25/00(2006.01) B08B 3/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆片清洗烘干装置 (57)摘要 本实用新型涉及晶圆片烘干技术， 用于解决 晶圆片在吹干时干燥不均匀， 同时水分蒸发慢容 易留下水痕的问题， 具体为一种晶圆片清洗烘干 装置， 包括丝杆与滑动座， 丝杆带动滑动座移动， 滑动座上安装有升降电机与吸盘头， 吸盘头能够 将晶圆片转运至甩干盘上进行甩干， 甩干池中设 置有热风出口对晶圆片进行烘干； 本实用新型中 在对晶圆片进行烘干时， 通过吸盘将晶圆片从上 一工位转移至烘干工位， 当晶圆片放置与烘干工 位后， 通过甩干盘的高速转动将晶圆片的水分加 速甩下， 再配合热风从晶圆片两侧同时吹动， 加 速残留水分的蒸发， 提高水分的蒸发速度， 防止 晶圆片上残留水痕， 保证晶圆片的清洗烘干效 果。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 218034045 U 2022.12.13 CN 218034045 U 1.一种晶圆片清洗烘干装置， 包括盖板(1)与晶圆生产装置， 其特征在于， 所述盖板(1) 下方固定连接有底板(2)， 所述底板(2)固定安装于晶圆生产装置上表 面， 所述底板(2)一端 固定安装有驱动电机(19)， 所述 驱动电机(19)输出轴贯穿底板(2)侧壁并连通至底板(2)内 部， 所述底板(2)内部转动连接有丝杆(7)， 所述丝杆(7)与驱动电机(19)输出轴固定连接； 所述盖板(1 )上表面滑动连接有连接板(11)， 所述盖板(1)下表面滑动连接有滑动板 (9)， 所述滑动板(9)与连接板(11)边缘处通过螺栓固定连接， 所述连接板(11)上表面固定 安装有气缸架(12)， 所述气缸架(12)外壁固定安装有升降气缸(13)， 所述升降气缸(13)输 出轴底端固定连接吸盘架(14)， 所述吸盘架(14)竖直方向安装有吸盘头(15)， 所述底板(2) 靠近吸盘头(15)的一侧固定安装有甩干池(3)， 所述甩干池(3)内部转动连接有甩干盘(6)。 2.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗烘干装置， 其特征在于， 所述底板(2)内壁两 侧固定安装有滑轨(20)， 所述滑动板(9)下表面两侧固定连接有滑块(10)， 所述滑动板(9) 下表面中部固定连接有滑动座(17)， 所述滑块(10)滑动连接在滑轨(20)外壁， 所述滑动座 (17)套接在丝杆(7)外壁， 所述滑动板(9)与滑动座(17)一端通过 连接片(8)固定连接 。 3.根据权利要求1所述的一种晶圆片清洗烘干装置， 其特征在于， 所述甩干池(3)下表 面固定连接有甩干支架(4)， 所述甩干池(3)通过甩干支架(4)固定安装与晶圆生产装置中， 所述甩干支架(4)下表面固定安装有甩干电机(5)， 所述甩干池(3)底部固定安装有齿轮箱 (18)， 所述甩干电机(5)输出轴连接在齿轮箱(18)内部， 所述甩干盘(6)底端通过转轴与齿 轮箱(18)内部相连接 。 4.根据权利要求2所述的一种晶圆片清洗烘干装置， 其特征在于， 所述滑动座(17)朝向 驱动电机(19)的一端固定安装有防撞脚垫(16)， 所述丝杆(7)远离驱动电机(19)的一端通 过深沟球轴承与底板(2)内壁转动连接， 所述底板(2)位于深沟球轴承下方位置也固定安装 有防撞脚垫(16)。 5.根据权利要求2所述的一种晶圆片清洗烘干装置， 其特征在于， 所述滑块(10)与滑轨 (20)相连接 部分通过T字形槽相连接 。 6.根据权利要求3所述的一种晶圆片清洗烘干装置， 其特征在于， 所述甩干盘(6)两端 两侧开设有出风口， 该 出风口通过风管与热风源相连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218034045 U 2一种晶圆片清洗烘干装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆片烘干技 术， 具体为 一种晶圆片清洗烘干装置 。 背景技术 [0002]目前干燥晶圆片的方法一般有两种： 一种是通过手动方式用氮气枪对晶圆片进行 吹干， 由于此种方式需要通过手动 操作， 工作效率较低， 操作时不仅容易在晶圆片的边缘产 生水痕， 且还容易导致晶圆片 干燥不均匀， 同时稍不小心还容易使晶圆片破碎； 另一种是通 过晶圆片烘干 机对晶圆片进行干燥， 此种方式大 大提高了 干燥晶圆片的工作效率； [0003]但目前现有的晶圆片烘干机仍存在不足之处， 大多数烘干机都是采用风机吹干的 方式， 此种方式在对晶圆片进 行吹干时， 仍然容易导致晶圆片 干燥不均匀， 同时由于水分是 在晶圆片上吹干的过程较慢， 容 易在晶圆片上留下 水痕， 影响晶圆片的使用； [0004]针对上述 技术问题， 本申请提出一种解决方案 。 实用新型内容 [0005]本实用新型中在对晶圆片进行烘干时， 是通过吸盘将晶圆片从上一工位转移至烘 干工位， 当晶圆片放置与烘干工位后， 通过甩干盘的高速转动 将晶圆片的水分加速甩下， 再 配合热风从晶圆片 两侧同时吹动， 加速残留水分的蒸发， 提高水分的蒸发速度， 防止晶圆片 上残留水痕， 保证晶圆片的清洗烘干效果， 解决晶圆片在吹干时干燥不均匀， 同时水分蒸发 慢容易留下水痕的问题， 而提出一种晶圆片清洗烘干装置 。 [0006]本实用新型的目的可以通过以下技 术方案实现： [0007]一种晶圆片清洗烘干装置， 包括盖板与晶圆生产装置， 所述盖板下方固定连接有 底板， 所述底板固定安装于晶圆生产装置上表面， 所述底板一端固定安装有驱动电机， 所述 驱动电机输出轴贯穿底板侧 壁并连通至底板内部， 所述底板内部转动连接有丝杆， 所述丝 杆与驱动电机 输出轴固定连接； [0008]所述盖板上表面滑动连接有连接板， 所述盖板下表面滑动连接有滑动板， 所述滑 动板与连接板边缘处通过螺栓固定连接， 所述连接板上表面固定安装有气缸架， 所述气缸 架外壁固定安装有升降气缸， 所述升降气缸输出轴底端固定连接吸盘架， 所述吸盘架竖直 方向安装有吸盘头， 所述底板靠近吸盘头的一侧固定安装有甩干池， 所述甩干池内部转动 连接有甩干盘。 [0009]作为本实用新型的一种优选实施方式， 所述底板内壁两侧固定安装有滑轨， 所述 滑动板下表面两侧固定连接有滑块， 所述滑动板下表面中部固定连接有滑动座， 所述滑块 滑动连接在滑轨外壁， 所述滑动座套接在丝杆外壁， 所述滑动板与滑动座一端通过连接片 固定连接 。 [0010]作为本实用新型的一种优选实施方式， 所述甩干池下表面固定连接有甩干支架， 所述甩干池通过甩干支架固定安装与晶圆生产装置中， 所述甩干支架下表面固定安装有 甩 干电机， 所述甩干池底部固定安装有齿轮箱， 所述甩干电机输出轴连接在 齿轮箱内部， 所述说　明　书 1/3 页 3 CN 218034045 U 3