(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222037721.2 (22)申请日 2022.08.03 (73)专利权人 广州市蓝羽达电子设备有限公司 地址 510000 广东省广州市增城区增江街 纬五路2号厂房C1 (72)发明人 陈斐　李新乐　刘伟峰　赖晓焘　 (74)专利代理 机构 广州汇航专利代理事务所 (普通合伙) 44537 专利代理师 潘婷 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (54)实用新型名称 一种光罩清洗机 (57)摘要 本实用新型公开了一种光罩清洗机， 包括减 震座、 清洗仓和清洗结构， 所述减震座的顶端固 定安装有储存箱， 所述储存箱的顶端安装有清洗 仓， 所述清洗仓的内部安装有清洗结构， 所述清 洗仓的两侧安装有进水口， 所述进水口的一端固 定安装有雾化喷头。 该光罩清洗机设置有滑槽、 滑块、 固定框、 伺服电机和夹板， 在对光罩进行清 洗的过程中， 第二弹簧能够推动夹板对不同规格 的光罩进行固定工作， 而伺服电机的设置能够对 光罩进行翻转， 以便于对光罩进行全 方位的清理 工作， 同时第一弹簧能够通过滑 块推动固定框进 行弹出工作， 从而便于对固定框内部的光罩进行 固定和取出工作， 避免在固定和取出的过程中粘 接药剂， 提高了该装置使用工作的便捷性和安全 性。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217700357 U 2022.11.01 CN 217700357 U 1.一种光 罩清洗机， 包括减震座(1)、 清洗 仓(3)和清洗结构(4)， 其特 征在于： 所述减震座(1)的顶端固定安装有储存箱(2)， 所述储存箱(2)的顶端安装有清洗仓 (3)， 所述清洗仓(3)的内部安装有清洗结构(4)， 所述清洗仓(3)的两侧安装有进水口(5)， 所述进水口(5)的一端固定安装有雾化喷头(6)； 所述清洗仓(3)的两侧内部开设有滑槽(7)， 所述滑槽(7)的内部焊接有定位杆(8)， 所 述定位杆(8)的表 面缠绕有第一弹簧(9)， 所述定位杆(8)的表 面套接有滑 块(10)， 所述定位 杆(8)的一侧固定连接有第一弹簧(9)， 所述滑块(10)的内部开设有滑孔(11)， 所述滑孔 (11)与定位杆(8)相互连接； 所述滑块(10)的内侧固定安装有固定框(12)， 所述 固定框(12)的一侧固定安装有拉杆 (13)； 所述固定框(12)的内部固定安装有伺服电机(14)， 所述伺服电机(14)的一端安装有固 定板(15)， 所述固定板(15)的两端 内部贯穿有限位杆(16)， 所述限位杆(16)的一端焊接有 夹板(17)， 所述限位杆(16)的表面缠绕有第二弹簧(18)； 所述清洗仓(3)的一侧固定安装有定位块(19)， 所述定位块(19)的内部开设有贴合槽 (20)， 所述贴合槽(20)的内部贴合有卡块(21)， 所述卡块(21)的两端开设有通孔(22)， 所述 通孔(22)的内部贯穿有固定杆(23)， 所述固定杆(23)的一端与定位块(19)固定连接， 所述 固定杆(23)的表面缠绕连接有复位弹簧(24)。 2.根据权利要求1所述的一种光罩清洗机， 其特征在于： 所述清洗仓(3)的两侧等间距 镶嵌有进水口(5)， 所述进水口(5)的一端均螺纹连接有雾化喷头(6)。 3.根据权利 要求1所述的一种光罩清洗机， 其特征在于： 所述滑槽(7)关于清洗仓(3)的 中心线对称开设， 且滑槽(7)的内部对称焊接有定位杆(8)。 4.根据权利要求1所述的一种光罩清洗机， 其特征在于： 所述滑块(10)通过第一弹簧 (9)与滑槽(7)构成伸缩结构， 所述滑块(10)通过滑孔(11)与定位杆(8)滑动连接， 且滑孔 (11)的尺寸与定位杆(8)的尺寸相吻合。 5.根据权利 要求1所述的一种光罩清洗机， 其特征在于： 所述限位杆(16)关于夹板(17) 的中心线对称设置， 且夹 板(17)通过第二弹簧(18)与固定 板(15)构成伸缩结构。 6.根据权利要求1所述的一种光罩清洗机， 其特征在于： 所述贴合槽(20)的尺寸与卡块 (21)的尺寸相吻合， 且卡块(21)通过复位弹簧(24)与定位块(19)构成伸缩结构， 并且卡块 (21)与固定 框(12)卡 合连接。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217700357 U 2一种光罩清洗机 技术领域 [0001]本实用新型 涉及光罩技术领域， 具体为 一种光罩清洗机。 背景技术 [0002]光罩是由石英玻璃作为衬底， 在其上面镀上一层金属铬和感光胶， 成为一种 感光 材在对光罩进行使用的过程中， 需要通过清洗机对光罩进行有效的清理工作， 然而现有的 清洗机在使用的过程中还是存在一 点的缺陷的； [0003]如申请号为CN202021426291.8所提出 的一种光罩清洗机， 包括清洗机本体， 所述 清洗机本体内腔挖设有工作腔， 所述工作腔 内腔底面通过滑轨连接有工作板， 所述工作板 两端通过带动组件滑动连接有限位组件， 所述带动组件包括滑槽、 滑块与电液推杆， 所述滑 槽对称挖设于工作板两端， 所述滑块滑动设置于滑槽中， 所述电液推杆设置于滑槽一侧， 且 所述电液推杆输出端连接滑块， 所述放置盒内腔底面设置有调速电机， 位于右侧的所述阻 尼转轴连接于调速电机输出端， 且所述调速电机与放置盒贯通处设置有密封垫片， 所述工 作腔内腔底面两侧对称挖设有多个进水 口， 所述工作腔两端对称设置有可视玻璃， 在实际 的使用过程中， 对光罩进行清理时需要使用药液对其进行清理， 而该装置在使用的过程中 需要将手伸入清洗机的内部对光罩进行安装和拆卸， 可能会使手粘接药液产生安全隐患， 降低了该装置对光 罩进行固定和取 出工作的便捷性。 [0004]所以我们提出了一种光 罩清洗机， 以便于解决上述中提出的问题。 实用新型内容 [0005]本实用新型的目的在于提供一种光罩清洗机， 以解决上述背景技术提出的目前市 场上光罩清洗机降低了该装置对光 罩进行固定和取 出工作的便捷性的问题。 [0006]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种光罩清洗机， 包括减震座、 清洗仓和清洗结构， [0007]所述减震座的顶端固定安装有储存箱， 所述储存箱的顶端安装有清洗仓， 所述清 洗仓的内部安装有清洗结构， 所述清洗仓的两侧 安装有进水 口， 所述进水 口的一端固定安 装有雾化喷头； [0008]所述清洗仓 的两侧内部开设有滑槽， 所述滑槽 的内部焊接有定位杆， 所述定位杆 的表面缠绕有第一弹簧， 所述定位杆的表面套接有滑块， 所述定位杆 的一侧固定连接有第 一弹簧， 所述滑块的内部开设有滑孔， 所述滑孔与定位杆相互连接； [0009]所述滑块的内侧固定安装有固定 框， 所述固定 框的一侧固定安装有拉杆； [0010]所述固定框 的内部固定安装有伺服电机， 所述伺服电机 的一端安装有固定板， 所 述固定板的两端内部贯穿有限位杆， 所述限位杆的一端焊接有夹板， 所述限位杆的表面缠 绕有第二弹簧； [0011]所述清洗仓 的一侧固定安装有定位块， 所述定位块的内部开设有贴合槽， 所述贴 合槽的内部 贴合有卡块， 所述卡块的两端开设有通孔， 所述通孔的内部贯穿有固定杆， 所述说　明　书 1/4 页 3 CN 217700357 U 3