(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221866514.1 (22)申请日 2022.07.21 (73)专利权人 上海广奕电子科技股份有限公司 地址 201203 上海市浦东 新区中国(上海) 自由贸易试验区郭守敬路351号2号楼 A644-28室 (72)发明人 王作义　朱莉　高万智　何立新　 陈家胜　毛明兴　 (74)专利代理 机构 北京卫智易创专利代理事务 所(普通合伙) 16015 专利代理师 朱春野 (51)Int.Cl. H05K 7/20(2006.01) H01J 37/02(2006.01) G05B 19/05(2006.01) (54)实用新型名称 一种离子注入机用真空系统改造装置 (57)摘要 本实用新型涉及真空系统技术领域， 尤其为 一种离子注入机用真空系统改造装置， 包括壳 体， 所述壳体的正表面开设有安装槽， 所述安装 槽的内腔滑动连接有PLC程序控制器本体， 所述 PLC程序控制器本体右侧的顶部与底部均开 设有 定位槽， 所述定位槽的内腔滑动连接有定位块。 本实用新型具备散热效率高、 拆装便利和防尘的 优点， 在实际使用过程中， 通过安装槽、 定位槽、 定位块、 风机和固定块的配合使用， 不仅能够实 现高效散热的效果， 而且还能够便于使用者将 PLC程序控制器本体拆除进行维护， 通过套管和 滤网还能够起到防尘效果， 避免壳体的内部进入 大量的灰尘， 进而延长PLC程序控制器本体的使 用寿命， 提高了PLC程序控制器 本体的实用性。 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 CN 218103983 U 2022.12.20 CN 218103983 U 1.一种离子注入机用真空系统改造装置， 包括壳体(1)， 其特征在于： 所述壳体(1)的正 表面开设有安装槽(2)， 所述安装槽(2)的内腔滑动连接有PLC程序控制器本体(3)， 所述PLC 程序控制器本体(3)右侧的顶部与底部均开设有定位槽(4)， 所述定位槽(4)的内腔滑动连 接有定位块(5)， 所述定位块(5)的一侧贯穿至定位槽(4)的外侧并与安装槽(2)的内壁固定 连接， 所述安装槽(2)内腔的顶部与底部均开设有出风孔(6)， 所述PLC程序控制器本体(3) 的顶部与底部均开设有散热孔(7)， 所述壳体(1)的背表面固定连接有风机(8)， 所述风机 (8)的出风管贯穿至壳体(1)的内腔， 所述壳体(1)正表面的顶部与底部均固定连接有块体 (9)， 所述块体(9)的内腔滑动连接有活动块(10)， 所述活动块(10)的一侧固定连接有两个 呈对称设置的固定块(11)， 所述固定块(11)远离活动块(10)的一侧贯穿至块体(9)的外侧， 所述块体(9)内腔的一侧固定连接有弹簧(14)， 所述风机(8)的表面套设有套管(19)， 所述 套管(19)的一侧与壳体(1)固定连接， 所述套管(19)的内腔固定连接有滤网(20)。 2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用真空系统改造装置， 其特征在于： 所述块体 (9)内腔的两侧均开设有导向槽(12)， 所述导向槽(12)的内腔滑动连接有导向块(13)， 所述 导向块(13)的一侧与活动块(10)固定连接 。 3.根据权利要求1所述的一种离子注入机用真空系统改造装置， 其特征在于： 所述活动 块(10)远离固定块(11)的一侧开设有弹簧槽(15)， 所述弹簧(14)的一端贯穿至弹簧槽(15) 的内腔并与弹簧槽(15)的内壁固定连接 。 4.根据权利要求1所述的一种离子注入机用真空系统改造装置， 其特征在于： 所述PLC 程序控制器本体(3)的正表面固定连接有散热翅片(16)， 所述散热翅片(16)的形状为方 形。 5.根据权利要求1所述的一种离子注入机用真空系统改造装置， 其特征在于： 所述活动 块(10)的正表面固定连接有推块(17)， 所述推块(17)的一侧贯 穿至块体(9)的外侧。 6.根据权利要求1所述的一种离子注入机用真空系统改造装置， 其特征在于： 所述壳体 (1)顶部与底部的右侧固定连接有安装板(18)， 所述 安装板(18)的表面 开设有通 孔。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218103983 U 2一种离子注入机用真空系统改造装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及真空系统技术领域， 具体为一种离子注入机用真空系统改造装 置。 背景技术 [0002]离子注入机是高压小型加速器中的一种， 应用数量最多， 它是由离子源得到所需 要的离子， 经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流， 用做半导体材料、 大规模集成电路 和器件的离子注入， 还用于金属材料表面改性和制膜等， 而离子注入机的真空系统， 是由真 空泵、 PLC程序控制系统、 储气罐、 真空管道、 真空阀门、 境外过滤总成等组成的成套真空系 统， 该系统广泛应用于电子半导体业、 光电背光模组、 机 械加工等行业。 [0003]离子注入机的真空系统中需要用到PLC程序控制器， 现有PLC程序控制器在使用 时， 存在散热效率低、 拆装不便、 不具备防尘 的问题， 导致PLC程序控制器在使用时， 会由于 内部温度过高， 出现短路的问题， 拆装不便不仅不便于使用者对PLC程序控制器进行维护， 而且还会影响到 工作人员的工作效率， 进 而降低了PLC程序控制器的实用性。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于提供一种离子注入机用真空系统改造装置， 具备散热效率 高、 拆装便利和防尘的优点， 解决了现有PLC程序控制器在使用时， 存在散热效率低、 拆装不 便、 不具备防尘的问题， 导致PLC程序控制器在使用时， 会由于内部温度过高， 出现短路的问 题， 拆装不便不仅不便于使用者对PLC程序控制器进 行维护， 而且还会影响到工作人员的工 作效率， 进 而降低了PLC程序控制器实用性的问题。 [0005]为实现上述目的， 本实用新型提供如下技术方案： 一种离子注入机用真空系统改 造装置， 包括壳体， 所述壳体的正表面开设有安装槽， 所述安装槽的内腔滑动连接有PLC程 序控制器本体， 所述PLC程序控制器本体右侧的顶部与底部均开设有定位槽， 所述定位槽的 内腔滑动连接有定位块， 所述定位块的一侧贯穿至定位槽的外侧并与安装槽的内壁固定连 接， 所述安装槽内腔的顶部与 底部均开设有 出风孔， 所述PLC程序控制器本体的顶部与 底部 均开设有散热孔， 所述壳体的背表面固定连接有风机， 所述风机的出风管贯穿至壳体的内 腔， 所述壳体正表 面的顶部与 底部均固定连接有块体， 所述块体的内腔滑动连接有活动块， 所述活动块的一侧固定连接有两个呈对称设置的固定块， 所述固定块远离活动块的一侧贯 穿至块体的外侧， 所述块体内腔的一侧固定连接有弹簧， 所述风机的表面套设有套 管， 所述 套管的一侧与壳体固定连接， 所述套管的内腔固定连接有滤网。 [0006]优选的， 所述块体内腔的两侧均开设有导向槽， 所述导向槽 的内腔滑动连接有导 向块， 所述 导向块的一侧与活动块固定连接 。 [0007]优选的， 所述活动块远离固定块的一侧开设有弹簧槽， 所述弹簧的一端贯穿至弹 簧槽的内腔并与弹簧槽的内壁固定连接 。 [0008]优选的， 所述PLC程序 控制器本体的正表面固定连接有散热翅片， 所述散热翅片的说　明　书 1/4 页 3 CN 218103983 U 3