ICS77.150.99 CCSH63 中华人民共和国国家标准 GB/T43301—2023 钼及钼合金管靶 Molybdenumandmolybdenumalloytubetargets 2023-11-27发布 2024-06-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国有色金属工业协会提出。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本文件起草单位:金堆城钼业股份有限公司、中钨稀有金属新材料(湖南)有限公司、福建阿石创新 材料股份有限公司、西安瑞福莱钨钼有限公司、常州苏晶电子材料有限公司、宁波江丰钨钼材料有限公 司、丰联科光电(洛阳)股份有限公司、安泰天龙钨钼科技有限公司、洛阳科威钨钼有限公司、有色金属技 术经济研究院有限责任公司。 本文件主要起草人:朱琦、冯鹏发、王郭亮、张外平、林志河、黄岩、卜春阳、韩强、金波、干科军、席莎、 王娜、张雪凤、姚惠龙、张科、吴东青、刘仁智、陈成、岳慎伟、李帅方、白智辉。 ⅠGB/T43301—2023 钼及钼合金管靶 1 范围 本文件规定了钼及钼合金管靶的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随 行文件和订货单内容。 本文件适用于粉末冶金方法和压力加工方法制备的钼及钼合金管靶。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB/T191 包装储运图示标志 GB/T1031 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值 GB/T3850 致密烧结金属材料与硬质合金 密度测定方法 GB/T4325(所有部分) 钼化学分析方法 GB/T11336 直线度误差检测 YS/T1554 钨、钼及其合金棒材和管材超声检测方法 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 焊合率 bondingrate 管靶横截面积扣除绑定缺陷面积后的剩余面积与管靶横截面积的比值。 4 分类 4.1 产品牌号及分类 产品按照化学成分分为MGMo、MGMoW、MGMoTa、MGMoNb四个牌号。产品牌号及分类见 表1。 表1 产品牌号及分类 牌号 状态规格 mm 外径 壁厚 长度用途 MGMo、MGMoW、 MGMoTa、MGMoNb去应力退火态 (m)80~400 6~30400~4000显示屏、薄膜太阳能电 池、隔热屏等领域 1GB/T43301—2023 4.2 产品标记及示例 产品标记按产品名称、牌号、状态、规格、文件编号的顺序表示。 示例1: 用纯钼制造的、状态为去应力态、外径为80mm、壁厚为6mm、长度为400mm的管靶,标记为: 管靶MGMom80×6×400GB/T43301 示例2: 用钼钨合金制造的、状态为去应力态、外径为160mm、壁厚为10mm、长度为800mm的管靶,标记为: 管靶MGMoWm160×10×800GB/T43301 5 技术要求 5.1 化学成分 产品的化学成分应符合表2的规定。钼合金管靶中合金元素含量有特殊要求时,由供需双方确定 并在订货单中注明。 表2 化学成分(质量分数) % 化学成分牌号 MGMo MGMoW MGMoTa MGMoNb Mo含量a≥99.95 余量 余量 余量 合金元素含量W 3~50 — — Ta — 5~20 — Nb — — 5~20 杂 质 元 素 含 量 ︐不 大 于Fe 0.0030 0.0030 0.0030 0.0030 Ni 0.0010 0.0020 0.0020 0.0020 Si 0.0020 0.0020 0.0030 0.0030 Al 0.0010 0.0015 0.0015 0.0020 Cu 0.0010 0.0005 0.0005 0.0010 Mn 0.0005 0.0010 0.0010 0.0010 Ca 0.0020 0.0020 0.0020 0.0020 Mg 0.0010 0.0010 0.0010 0.0010 Cr 0.0020 0.0020 0.0020 0.0020 Co 0.0010 0.0010 0.0010 0.0010 Zn 0.0010 0.0010 0.0010 0.0010 Pb 0.0010 0.0010 0.0010 0.0010 K 0.0020 0.0020 0.0020 0.0020 Na 0.0010 0.0010 0.0010 — Ag 0.0005 0.0005 0.0005 0.0005 2GB/T43301—2023 表2 化学成分(质量分数)(续) % 化学成分牌号 MGMo MGMoW MGMoTa MGMoNb 杂 质 元 素 含 量 ︐不 大 于Sn 0.0010 0.0010 0.0010 0.0010 W 0.0300 — 0.0300 0.0300 C 0.0030 0.0030 0.0030 0.0030 O 0.0040 0.0030 0.20 0.15 N 0.0010 0.0030 0.0020 0.0030 aMo含量为100%减去表中所列杂质元素(W、C、O、N除外)含量的总和。 5.2 外形尺寸及其允许偏差 产品的外形尺寸及其允许偏差应符合表3的规定。如需方对外形尺寸及其允许偏差有特殊要求, 由供需双方协商确定并在订货单中注明。 表3 产品的外形尺寸及其偏差 单位为毫米 外径 允许偏差 壁厚 允许偏差 长度 允许偏差 80~120 ±0.1 >120~160 ±0.2 >160~400 ±0.36~30±0.05 400~1000 ±0.5 ±0.10 >1000~2000 ±1.0 ±0.10 >2000~4000 ±2.0 5.3 直线度 产品的直线度每米应不大于1.0mm。 5.4 相对密度 MGMo产品的相对密度应不小于97%,MGMoW、MGMoTa、MGMoNb产品的相对密度应不小 于95%。 5.5 绑定质量 产品的绑定分为焊接和非焊接两种方式,焊接方式产品的绑定质量应符合表4规定。 表4 焊接质量 绑定方式 焊合率 单点不良面积/总焊接面积 焊接 ≥95% ≤1.5% 5.6 表面粗糙度 产品外表面的表面粗糙度Ra应不大于1.6μm,内表面的表面粗糙度Ra应不大于3.2μm。如需 3GB/T43301—2023 方有特殊需求时,由供需双方协商确定并在订货单中注明。 5.7 内部质量 产品不应有分层,不应有尺寸大于0.3mm夹杂或气孔等内部质量缺陷。 5.8 外观质量 产品的内外表面应光滑,无肉眼可见裂纹,局部凹坑、擦伤和划痕的深度应不大于0.3mm。 6 试验方法 6.1 化学成分 产品的化学成分检测按GB/T4325(所有部分)的规定进行。 6.2 外形尺寸及其允许偏差 产品的外形尺寸及其偏差检测采用相应测量精度的量具进行。 6.3 直线度 产品的直线度检测按GB/T11336的规定进行。 6.4 相对密度 产品的相对密度检测按GB/T3850的规定进行。 6.5 绑定质量 产品的绑定质量使用超声检测。用5MHz~10MHz探头检测绑定界面层,当缺陷超过0.5mm, 回波振幅超过60%,则判定为绑定缺陷,并统计各绑定缺陷面积。 6.6 表面粗糙度 产品的表面粗糙度检测按GB/T1031的规定进行。 6.7 内部质量 产品的内部质量检验按YS/T1554的规定进行。 6.8 外观质量 产品的外观质量用目视检查。如发现异常现象,用放大镜或数码显微镜进行鉴别。 7 检验规则 7.1 检查和验收 7.1.1 产品应由供方或第三方进行检验,保证产品质量符合本文件及订货单的规定。 7.1.2 需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件及订货单的规定不符时, 应以书面形式向供方提出,由供需双方协商解决。属于表面质量或外形尺寸的异议,应在收到产品之日 起一个月内提出,属于其他性能的异议,应在收到产品之日起三个月内提出。如需仲裁,应由供需双方 4GB/T43301—2023