ICS 71. 100. 20 G 86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 26251—2010 氟和氟氮混合气 Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen 2011-01-14发布 2011-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T26251—2010 前言 本标准的附录A为规范性附录。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出。 本标准由全国半导体设备和材料技术委员会气体分技术委员会（SAC/TC203)归口。 本标准起草单位：中核红华特种气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、山东锐华氟 业有限公司、核工业理化工程研究院、西南化工研究设计院。 本标准主要起草人：杜伟华、贺国武、李建浩、李春晓、倪志强、邓建平、周鹏云 GB/T26251—2010 氟和氟氮混合气 1范围 本标准规定了氟和氟氮混合气的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全的要求 本标准适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟。氟用于制备六氟化铀、六氟化硫、 三氟化硼、二氟化银、三氟化钻和三氟化镁等氟化物，也可用于激光气或塑料氟化处理等领域。 氟氮混合气制备采用压力法。混合气主要用于汽车、制药工业中材料氟化处理。 氟的分子式:F2。 氟的相对分子质量：37.9968064（按2007年国际相对原子质量计算）。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 GB 7144 气瓶颜色标志 GB/T 8979 纯氮、高纯氮和超纯氮 GB/T11640铝合金无缝气瓶 GB 14194 永久气体气瓶充装规定 GB/T26571 特种气体储存期规范 《气瓶安全监察规程》（国家质量监督检验检疫总局发布，2000年） 3技术要求 3.1 氟的技术要求应符合表1的规定。 表 1氟的技术指标 项 目 指标 氟（F2）纯度（体积分数）/10-2 99.0 氧（O2）十氮（N2）含量（体积分数）/10-2 0. 45 四氟化碳（CF，）含量（体积分数）/10-2 0.05 氟化氢（HF）含量（体积分数）/10-2 0.50 3.2 氟氮混合气的技术要求应符合表2的规定。 表2氟氮混合气的技术指标 项 目 指标 氟（F2）含量（体积分数）/10-2 20 氮（N2）含量（体积分数）/10-2 80