ICS13.040.40 CCSZ60 31 上海市地方标准 DB31/374—2024 代替DB31/374—2006 半导体行业污染物排放标准 Thedischargestandardsofpollutantsforsemiconductorindustry 2024-2-29发布 2024-05-01实施   发布上海市生态环境局 上海市市场监督管理局 DB31/374—2024 I目次 前 言............................................................................II 引 言...........................................................................III 1范围.................................................................................1 2规范性引用文件.......................................................................1 3术语和定义...........................................................................3 4水污染物排放控制要求.................................................................4 5大气污染物排放控制要求...............................................................5 6污染物监测要求.......................................................................7 7达标判定要求........................................................................10 8实施与监督..........................................................................10 附录A（资料性）固定污染源废气含三甲苯的苯系物的测定气袋采样-气相色谱法.11 参考文献........................................................................15 DB31/374—2024 II前言 本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件代替DB31/374—2006《半导体行业污染物排放标准》，与DB31/374—2006相比，除结构调 整和编辑性改动外，主要技术变化如下： ——更改了水污染物排放标准的标准分级：将原第一类污染物两个级别的排放标准调整为执行同 一级别的排放标准，将原第二类污染物三个级别的直接排放标准调整为同一个级别（见4.1， 2006版的4.1.4）； ——删除了大气污染物的排放速率控制方式（2006版的4.2.2.2）； ——更改了污染物控制项目：增加了水污染物控制项目石油类、总氮、总磷、阴离子表面活性剂 和总锌（见表1）；取消了水污染物控制项目五日生化需氧量（2006版的4.1.4）；增加了大 气污染物控制项目氯气、氰化氢、锡及其化合物、苯、苯系物、非甲烷总烃、颗粒物和氮氧 化物（见5.1.1，2006版的4.2.2.2）； ——更改了部分污染物项目的排放限值：收严了悬浮物、化学需氧量、总有机碳、氨氮、总氰化 物、总铜、总铅、总镉、总镍等9项水污染物项目的排放限值（见4.1，2006版的4.1.4）； 收严了硫酸雾、氯化氢、挥发性有机物等3项大气污染物项目的排放限值（见5.1.1，2006 版的4.2.2.2）； ——增加了边界污染物监控要求（见5.3）； ——更改了部分污染物项目的测定分析方法（见6.2.2和6.3.4，2006版的5.4）； ——增加了达标判定要求（见8）。 本文件由上海市生态环境局提出并组织实施。 本文件由上海市生态环境保护标准化技术委员会归口。 本文件起草单位：上海市环境科学研究院、上海市集成电路行业协会。 本文件主要起草人：裴蓓、邵一平、艾丽丽、卢士强、刘扬、陈昊、何姚军、石建宾。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为： ——2006年首次发布为DB31/374—2006； ——本次为第一次修订。