ICS 71.040.40 G 04 中华人民共和国国家标准 GB/T35158—2017 俄歇电子能谱仪检定方法 Verification method for Auger electron spectrometers 2017-12-29发布 2018-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 35158—2017 目 次 前言 引言 IN 1 范围 2 规范性引用文件 3缩略语和符号 3.1 缩略语 3.2 符号 方法原理与系统构成 4.1 方法原理 4.2 系统构成 5计量单位与技术指标 5.1 计量单位 5.2技术指标 6检定环境 6.1 外观要求 6.2 安装场所要求 6.3 电源 6.4 环境温度与湿度 检定项目与方法 7.1 能量标检定 7.2 强度标检定. 24 7.3 横向分辨率检定 .31 7.4 离子枪检定 7.5 荷电控制与校正检定 50 报告检定结果 8 55 检定周期· 55 参考文献 56 GB/T 35158—2017 前言 本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草, 本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。 本标准起草单位:厦门大学、清华大学。 本标准起草人:姚文清、岑丹霞、张增明、徐建、刘芬、王水菊。 Ⅲ GB/T35158—2017 引 俄歇电子能谱仪(AES)广泛用于材料的实验性和常规性表面与界面分析,为纳米尺度的表面分析 仪器。我国目前有多家公司几十台不同型号的该类仪器。由于没有合适的检定方法的综合性国家标 准,仪器的能量标、强度标,溅射速率、横向分辨率等各项性能标准不统一,因此需要制定检定方法的国 家标准,以实现获取的谱图数据的科学性和可比性,这对于促进我国光电信息、能源及新材料等相关领 域的科技与产业的发展很有意义。 IV

pdf文档 GB-T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法

文档预览
中文文档 60 页 50 下载 1000 浏览 0 评论 0 收藏 3.0分
温馨提示:本文档共60页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
GB-T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法 第 1 页 GB-T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法 第 2 页 GB-T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法 第 3 页
下载文档到电脑,方便使用
本文档由 思安2023-01-24 17:30:31上传分享
给文档打分
您好可以输入 255 个字符
网站域名是多少( 答案:github5.com )
评论列表
  • 暂时还没有评论,期待您的金玉良言