ICS 31.030 L 90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 28159—2011 电子级磷酸 Electronic gradephosphoric acid 2011-12-30发布 2012-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T 28159—2011 目 次 前言 范围 1 规范性引用文件 2 3产品分类 要求 试验方法 5 5.1 安全提示 5. 2 般规定 5.3 外观 5. 4 磷酸含量 5.5 易氧化物含量 5.6 金属离子含量 5.7 阴离子含量 5.8 颗粒测定· 6 检验规则 6. 1 组批与抽样 6.2检验项目 7标志、标签 8包装、运输、贮存、操作…. 附录A（资料性附录） 仪器工作条件 附录B（资料性附录） 离子色谱图 13 I GB/T28159—2011 前言 本标准是根据GB/T1.12009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由全国半导体设备和材料标准化委员会（TC203提出并归口 本标准负责起草单位：四川成洪磷化工有限责任公司、江苏江阴市润玛电子材料有限公司、湖北兴 发化工集团股份有限公司、苏州电子材料厂有限公司、苏州晶瑞化学有限公司。 本标准主要起草人：李全东、肖遥、王文武、戈十勇、何珂、李少平、钟尉、尤家栋、刘兵， GB/T 28159—2011 电子级磷酸 1范围 本标准规定了电子级磷酸的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于电子工业用磷酸。 本标准不涉及使用安全性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的 限制。 规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 包装储运图示标志 GB/T 191 GB/T 601 化学试剂标准滴定溶液的制备 GB/T 603 化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 1282- 2—1996化学试剂磷酸 GB 3149—2004 食品添加剂磷酸 GB/T 6678 化工产品采样总则 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T11446.1电子级水 GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB 50472 电子工业洁净厂房设计规范 3产品分类 标准规定的电子级磷酸分为两种规格：E1为普通电子级磷酸，E2为高纯电子级磷酸 4要求 外观：无色、无臭、黏稠状液体 4. 2 电子级磷酸应符合表1要求。 表1要求 指 标 项 目 E1 E2 磷酸（H:PO,）质量分数（85%)/（%） 85~87 85~87 易氧化物（以H,PO计)质量分数/% 0.005 0.001 硝酸盐（NO：）质量分数/（mg/kg） 5 0.5 GB/T28159—2011 表1 (续) 指 标 项目 E1 E2 硫酸盐（SO）质量分数/（mg/kg） 10 5 氯化物（Cl-）质量分数/（mg/kg） 1 0. 5 铝（Al)质量分数/（μg/kg） 200 50 硼（B)质量分数/（μg/kg） 50 锑（Sb）质量分数/（μg/kg） 3.000 300 砷（As）质量分数/(μg/kg） 100 20 锁（Ba）质量分数/（μg/kg） 100 20 镉（Cd)质量分数/（μg/kg） 100 20 钙（Ca)质量分数/（μg/kg） 1 000 50 铬（Cr)质量分数/（μg/kg） 100 20 钻（Co)质量分数/（μg/kg） 100 20 铜（Cu）质量分数/(μg/kg） 50 20 镓（Ga)质量分数/（μg/kg） 100 10 金（Au)质量分数/（μg/kg） 100 10 铁（Fe)质量分数/（μg/kg） 300 50 铅（Pb)质量分数/（μg/kg） 100 20 锂（Li)质量分数/（ug/kg） 100 10 镁（Mg）质量分数/（μg/kg） 100 20 锰（Mn）质量分数/（μg/kg） 100 20 镍（Ni)质量分数/（μg/kg） 100 20 钾（K）质量分数/（μg/kg） 100 20 银（Ag）质量分数/（μg/kg） 100 20 钠（Na）质量分数/（μg/kg） 500 50 SZAC 锡（Sn)质量分数/（μg/kg） 一 10 锶（Sr)质量分数/（μg/kg） 100 20 钛（Ti)质量分数/（μg/kg） 100 50 < 锌（Zn）质量分数/（μg/kg） 100 50 颗粒（粒径，数量）/（μmpcs/mL） 5 试验方法 5. 1 安全提示 本试验方法中使用的部分试剂具有毒性、腐蚀性及易燃，操作者须小心谨慎！如溅到皮肤上应立即 用水冲洗，严重者应立即治疗。使用易燃品时，严禁使用明火加热。 2