ICS 29.045 H83 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T30858—2014 蓝宝石单晶衬底抛光片 Polished mono-crystalline sapphire substrate product 2014-07-24发布 2015-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T30858—2014 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)及材料分技术委员会（SAC/TC 203/SC2)共同提出并归口。 本标准主要起草单位：协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技 有限公司、浙江上城科技有限公司、江苏吉星新材料有限公司。 本标准主要起草人：魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮、袁忠纯、蔡金荣 I GB/T 30858—2014 蓝宝石单晶衬底抛光片 1范围 本标准规定了蓝宝石单晶衬底抛光片的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证 明书与订货单(或合同)内容。 本标准适用于单面抛光蓝宝石衬底片（以下简称蓝宝石衬底片）。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 1031 产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值 GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法 GB/T 2828.1 计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划 GB/T 6619 硅片弯曲度测试方法 GB/T6620 硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T 6624 硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T 13387 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法 GB/T 14140 硅片直径测量方法 GB/T14264 半导体材料术语 GB/T 19921 硅抛光片表面颗粒测试方法 GB/T 30857 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法 3术语和定义 GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 蓝宝石 sapphire 可以用来外延生长的、有确定晶向的人工生长单晶氧化铝材料 3.2 衬底 substrate 用于生长硅、氮化镓或其他材料的抛光蓝宝石晶片。 3.3 局部厚度变化 localthicknessvariation 当蓝宝石晶片的背面为理想平面时，在晶片表面的局部区域内，相对于特定参考平面的最大偏差， 通常报告晶片上所有局部定域的最大值。 3.4 蓝宝石晶棒 sapphireingot 依特定轴向生长的晶体，通过机械加工后满足切片的蓝宝石棒材。 1 GB/T30858—2014 3.5 亮点brightpoint 一种孤立的特性，晶片表面上尺寸足够的局部光散射体，其在高强度光照射下呈现为光点，这些光 点可目视观察到。有时称光点缺陷。 注：例如晶片表面上的颗粒沾污，相对于晶片表面的光散射强度，可导致该处光散射强度增加。 4要求 4.1 化学组成 蓝宝石单晶的化学组成为高纯的α-Al,O:，总杂质含量应小于10-4（100ppm）。 4.2 结晶完整性 要求蓝宝石衬底片在有效直径范围内都是单晶，位错密度应小于104个/cm?，双晶摇摆曲线的半 峰宽值（FWHM）应小于30arcsec。 SZIG 生长方法 4.3 制备蓝宝石单晶衬底片所使用的生长方法按双方合同的规定。 4.4表面取向和参考面取向 蓝宝石单晶属六方晶系，六方晶系晶胞的结构如图1所示。表面取向和参考面取向应符合表1的 规定，蓝宝石晶体R面的主参考面取向见图2。 c轴 C面 A面 R面 C面(0001) A面(1120) R面(1012) 图1六方晶系晶胞结构图 表 1 项目 要求 C面(0001) 表面取向 偏M轴0.2±0.15° R面(1102)±0.15° A面(1120)±0.15° M面（1010)±0.15 偏A轴0±0.15° 2 GB/T30858—2014 表1 (续) 项目 要求 C轴在(1120)面上的 A面（1120）±0.3或 C面（0001)±0.3°或 参考面取向 投影逆时针旋转 C面（0001)±0.3° M面(1010)±0.3° R面(1102)±0.3 45°士0.3如图2所示） 注：若有不同的角度需求依合同另行规定 衬底法线 "（”（0001)而法线 ""轴投影 参考面法线 图 2 蓝宝石晶体R面的主参考面取向 4.5 外形尺寸及允许偏差 蓝宝石衬底片的外形尺寸及允许偏差应符合表2的规定。 表 2 单位为毫米 项目 要求 直径 50.8±0.2 100.0±0.2 150.0±0.2 参考面尺寸 16.0±1.0 31±1.0 47.5±1.0 中心点厚度 0.430±0.015 0.650±0.02 1.300±0.02 弯曲度 ≤0.02 ≤0.04 ≤0.06 翘曲度 ≤0.02 ≤0.04 90°0> 总厚度变化 100> ≤0.02 z00> 局部厚度变化 ≤0.002 900'0 ≤0.005 (5mmX5mm) 注：若有不同的厚度需求依合同另行规定。 4.6 表面粗糙度 蓝宝石衬底片的表面粗糙度在有效直径范围内应小于0.3nm。 3