ICS23.160 J 78 中华人民共和国国家标准 GB/T32293—2015 真空技术 真空设备的检漏方法选择 Vacuum technologySelection of leak test methods for vacuum equipment 2015-12-10发布 2016-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32293—2015 目 次 前言 范围 1 规范性引用文件 3 术语和定义 人员资格 4 通用要求 5 6 检漏方法汇总 检漏方法选择程序 7 8检漏方法的选择 9检漏安全 附录A（规范性附录） 不同检漏条件的漏率修正 附录B（规范性附录） 真空设备常用检漏方法及主要特征参数 附录C（资料性附录）真空设备其他检漏方法及主要特征参数， 10 GB/T32293—2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC18）归口。 本标准起草单位：北京卫星环境工程研究所、中国空间技术研究院兰州空间技术物理研究所、安徽 皖仪科技股份有限公司、台州环球真空设备制造有限公司、湖南维格磁流体股份有限公司、中山凯旋真 空技术工程有限公司、威海智德真空科技有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研 究所。 本标准主要起草人：孙立臣、史纪军、李得天、刘恩均、汪力、闫荣鑫、张春元、孙刚、陈光奇、刘磊、 黄文平、赵伟胜、赵计春、言继春、王功发、言润泉、高峰、胡双丽、林乐忠、王长明、王玲玲。 Ⅲ GB/T 32293—2015 真空技术真空设备的检漏方法选择 1范围 本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求，通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序 及选择原则、检漏方法的特征参数。 本标准适用于真空设备的检漏方法选择，适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空阀 门、真空镀膜设备、真空干燥设备、真空冷冻干燥设备、表面分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设 备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准 执行。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 GB/T3163真空技术术语 GB/T9445无损检测人员资格鉴定与认证 3术语和定义 GB/T3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 漏率 leakagerate 在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量。 3.2 有效最小可检漏率 effectiveminimumdetectableleakage rate qemin 在具体的工作条件下，检漏方法所能检出的最小漏孔漏率。 3.3 允许漏率 acceptableleakagerate 真空设备正常工作所能接受的最大漏率。 3.4 黏滞漏孔 viscous leak 漏孔的质量流率反比于流动气体黏度的一种漏孔。 3.5 分子漏孔 molecular leak 漏孔的质量流率正比于流动气体分子质量平方根的倒数的一种漏孔。 4 人员资格 建议进行检漏方法选择的人员具备GB/T9445所要求的2级或2级以上资格。 1 GB/T32293—2015 5通用要求 5.1 检漏方法 检漏方法应包括基础检漏方法和应用技术两部分。 示例：氨质谱真空护罩法的基础方法是氢质谱真空法，应用技术是护罩技术。 5.2 选择检漏方法的要求 选择检漏方法时应综合考虑有效最小可检漏率、检漏技术条件、安全因素和经济因素。 5.3允许漏率 5.3.1允许漏率的组成 真空设备所有有密封要求的组成部分及连接处的漏率之和组成真空设备的允许漏率，且应不大于 真空设备的允许漏率。 5.3.2 确定的要素 允许漏率应与真空设备的功能和工作条件相符，并明确检漏条件。主要的检漏条件有： a) 温度； b）压力； c) 示踪介质。 5.4 检漏的要求 5.4.1 漏率修正 SA 检漏条件应与真空设备的工作条件一致。如无法满足，可按附录A修正漏率。 5.4.2 泄漏稳定时间 选择任何一种检漏方法进行检漏时，都应考虑泄漏稳定所需要的时间。 5.4.3洁净要求 真空设备在检漏时应洁净、去污，避免污染物堵塞漏孔。典型的污染物来源有： a) 碎屑； 灰尘； 油污； c) 焊渣； d) e) 油漆标记； f) 表面腐蚀。 6 6检漏方法汇总 6.1 常用检漏方法 真空设备常用检漏方法及主要特征参数见附录B，常用基础检漏方法有： 2