(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210619347.9 (22)申请日 2022.06.02 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114705626 A (43)申请公布日 2022.07.05 (73)专利权人 苏州高视半导体技 术有限公司 地址 215153 江苏省苏州市高新区嘉陵江 路198号1 1幢9层90 3室、 904室 (72)发明人 不公告发明人 　 (74)专利代理 机构 北京维昊知识产权代理事务 所(普通合伙) 11804 专利代理师 陈姗姗 (51)Int.Cl. G01N 21/01(2006.01) G01N 21/88(2006.01)G02B 13/18(2006.01) (56)对比文件 CN 113534420 A,2021.10.2 2 CN 107861316 A,2018.0 3.30 CN 105393155 A,2016.0 3.09 JP 2005258181 A,20 05.09.22 CN 197549 9 A,2007.06.06 CN 106154505 A,2016.1 1.23 US 2014184875 A1,2014.07.0 3 审查员 顾竹君 (54)发明名称 检测曲面表面缺陷的检测装置与补偿透镜 组 (57)摘要 本发明涉及一种检测曲面表面缺陷的检测 装置与补偿透镜组， 其补偿透镜组包括： 第一补 偿透镜为正弯月透镜， 第一补偿 透镜的第一面面 向曲面且为非球面， 第二面为球面； 第二补偿透 镜为负弯月透镜， 配置于第一补偿 透镜相对于曲 面的另一侧， 第二补偿透镜的第一面与第二面为 球面； 第三补偿透镜为正弯月透镜， 配置于第二 补偿透镜相对于第一补偿透镜的另一侧， 第三补 偿透镜的第一面与第二面为球面。 本发明的检测 装置与补偿 透镜组有助于检测在物 面端的曲面， 一次性完成曲面全表面检测， 提高检测 效率， 利 于工业生产。 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 CN 114705626 B 2022.09.02 CN 114705626 B 1.一种检测曲面表面 缺陷的补偿透 镜组， 其特 征在于包括： 第一补偿透镜， 为正弯月透镜， 所述第 一补偿透镜的第 一面面向所述曲面且为非球面， 第二面为球面； 第二补偿透镜， 为负弯月透镜， 配置于所述第一补偿透镜相对于所述曲面的另一侧， 所 述第二补偿透 镜的第一 面与第二 面为球面； 以及 第三补偿透镜， 为正弯月透镜， 配置于所述第二补偿透镜相对于所述第一补偿透镜的 另一侧， 所述第三补偿透 镜的第一 面与第二 面为球面； 其中， 所述第一补偿透 镜的第一 面的矢高的偶次非球面表达式为： 其中z为所述矢高， r为所述第一补偿透镜的第一面的孔径半径， k为圆锥系数且值为 ‑ 0.386， c为曲率半径的倒数且所述曲率半径的值为13.741mm， α1为0， α2为  ， α3 为 ， α4为 ， α5为 ， α6为  ， α7为 ， α8为 。 2.根据权利要求1所述的补偿透镜组， 其中所述第一补偿透镜的第一面与所述曲面的 第一距离介于 5mm至10mm间。 3.根据权利要求2所述的补偿透 镜组， 其中所述第一距离为7m m。 4.根据权利要求1所述的补偿透镜组， 其中所述第一补偿透镜的第二面的曲率半径为 10.616mm。 5.根据权利要求1所述的补偿透镜组， 其中所述第一补偿透镜的第二面与所述第二补 偿透镜的第一 面的第二距离介于12m m至16mm间。 6.根据权利要求5所述的补偿透 镜组， 其中所述第二距离为14.476m m。 7.根据权利要求1所述的补偿透镜组， 其中所述第二补偿透镜的第一面面向所述第一 补偿透镜， 所述第二补偿透 镜的第一 面的曲率半径为 ‑8.175mm。 8.根据权利要求1所述的补偿透镜组， 其中所述第二补偿透镜的第二面面向所述第三 补偿透镜， 所述第二补偿透 镜的第二 面的曲率半径为 ‑17.385mm。 9.根据权利要求8所述的补偿透镜组， 其中所述第二补偿透镜的第二面与所述第三补 偿透镜的第一 面的第三距离介于 3mm至4mm间。 10.根据权利要求9所述的补偿透 镜组， 其中所述第三距离为3.4 4mm。 11.根据权利要求1所述的补偿透镜组， 其中所述第 三补偿透镜的第一面面向所述第 二 补偿透镜， 所述第三补偿透 镜的第一 面的曲率半径为 ‑43.476mm。 12.根据权利要求1所述的补偿透镜组， 其中所述第三补偿透镜的第二面面向像方， 所 述第三补偿透 镜的第二 面的曲率半径为 ‑24.290mm。 13.根据权利要求12所述的补偿透镜组， 其中所述第三补偿透镜的第二面与相机的第 四距离介于45m m至50mm间。 14.根据权利要求13所述的补偿透 镜组， 其中所述第四距离为 47.409mm。 15.一种检测曲面表面 缺陷的检测装置， 其特 征在于包括：权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114705626 B 2检测镜头， 用以成像； 根据权利要求1至14任一项所述的补偿透镜组， 用于将所述检测镜头的物面转化为涵 盖所述曲面； 相机， 用以将所述成像转换成电信号； 以及 处理器， 用以根据所述电信号检测所述曲面表面 缺陷。 16.根据权利要求15所述的检测装置， 还包括光源， 用以对所述曲面表面打光， 经所述 补偿透镜组使得 所述相机 接收到所述成像。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114705626 B 3