(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122993749.9 (22)申请日 2021.12.01 (73)专利权人 无锡瓦力科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市高浪东路9 99 号-8-B1-10 01 (72)发明人 蒋筱乐　魏相霖　 (74)专利代理 机构 无锡市汇诚永信专利代理事 务所(普通 合伙) 32260 专利代理师 苗雨 (51)Int.Cl. B65D 25/10(2006.01) B65D 25/02(2006.01) B65D 85/30(2006.01) H01L 21/673(2006.01) (54)实用新型名称 一种晶圆片盒固定平台 (57)摘要 本实用新型涉及晶圆片盒固定设备技术领 域， 具体涉及一种晶圆片盒固定平台。 本实用新 型包括底座， 所述底座上设置有安装槽， 所述安 装槽上对称设置有可移动的卡块， 所述安装槽上 位于所述卡块下方均设置有若干固定孔， 所述底 座上位于 所述安装槽一侧设置有限位兼容块。 晶 圆片盒的尾部上对应限位兼容块 设置有兼容槽， 将晶圆片盒推到地板上， 使 得晶圆片盒尾部的兼 容槽与限位兼容块进行配合定位， 之后移动卡 块， 使得两边的卡块3卡在晶圆片盒的两侧， 最后 使用螺栓将卡块通过固定孔固定在安装槽上。 卡 块能够在安装槽内进行任意移动调节， 能够对不 同尺寸的晶圆片盒进行有效的固定， 进而能够兼 容不同尺寸标准的 晶圆片盒。 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 CN 216547443 U 2022.05.17 CN 216547443 U 1.一种晶圆片盒固定平台， 其特征在于， 包括底座(1)， 所述底座(1)上设置有安装槽 (2)， 所述安装槽(2)上对称设置有可移动的卡块(3)， 所述安装槽(2)上位于所述卡块(3)下 方均设置有若干固定孔(4 )， 所述底座(1)上位于所述安装槽(2)一侧设置有限位兼容块 (5)。 2.如权利要求1所述的一种晶圆片盒固定平台， 其特征在于， 所述卡块(3)上设置有限 位槽(301)。 3.如权利要求1所述的一种晶圆片盒固定平台， 其特征在于， 所述限位兼容块(5)上对 称设置有 若干限位 块(501)， 所述限位 块(501)的大小由上至下依次增大。 4.如权利要求3所述的一种晶圆片盒固定平台， 其特征在于， 所述限位块(501)外表面 为圆弧面。 5.如权利要求1所述的一种晶圆片盒固定平台， 其特征在于， 所述安装槽(2)上位于所 述卡块(3)之间设置有压力传感器(6)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216547443 U 2一种晶圆片盒固定平台 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆片盒固定设备技 术领域， 具体涉及一种晶圆片盒固定平台。 背景技术 [0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅 晶片， 其原始材料是硅。 高纯度的多晶硅溶 解后掺入硅晶体晶种， 然后慢慢拉出， 形成圆柱形的单晶硅。 硅晶棒在经过研磨， 抛光， 切片 后， 形成硅晶圆片， 也 就是晶圆。 国内晶圆生产线以8  英寸和12英寸 为主。 [0003]后续使用生产时， 需要将晶圆存放在晶圆片盒中， 之后将晶圆片盒固放置在固定 平台上， 最后通过机械手对片盒中的晶圆进行夹取使用， 现有的固定平台无法适用于不用 尺寸的片盒， 从而无法满足正常的使用需求。 [0004]上述问题是本领域亟需解决的问题。 实用新型内容 [0005]本实用新型要解决的技术问题是提供一种晶圆片盒固定平台， 从而能够适用于不 同尺寸的 晶圆片盒。 [0006]为了解决上述技术问题， 本实用新型提供的方案是： 一种晶圆片盒固定平台， 包括 底座， 所述底座上设置有安装槽， 所述安装槽上对称设置有 可移动的卡块， 所述安装槽上位 于所述卡块下方均设置有若干固定孔， 所述底座上位于所述安装槽一侧设置有限位兼容 块。 [0007]作为本实用新型的进一 步改进， 所述 卡块上设置有限位槽 。 [0008]作为本实用新型的进一步改进， 所述限位兼容块上对称设置有若干限位块， 所述 限位块的大小由上至下依次增大。 [0009]作为本实用新型的进一 步改进， 所述限位 块外表面 为圆弧面。 [0010]作为本实用新型的进一步改进， 所述安装槽上位于所述卡块之间设置有压力传感 器。 [0011]本实用新型的有益效果： [0012]本实用新型结构合理、 简单， 操作便捷， 晶圆片盒的尾部上对应限位兼容块设置有 兼容槽， 将晶圆片盒推到地板上， 使得晶圆片盒尾部的兼容槽与限位兼容块进 行配合定位， 之后移动卡块， 使得两边的卡块3卡在晶圆片盒的两侧， 最后使用螺栓将卡块通过固定孔固 定在安装槽上。 卡块能够在安装槽内进行任意移动调节， 能够对不同尺寸的晶圆片盒进行 有效的固定， 进 而能够兼容 不同尺寸标准的 晶圆片盒。 附图说明 [0013]图1是本实用新型的结构示 意图； [0014]图2是本实用新型限位兼容 块的结构示 意图。 [0015]附图标记： 1、 底座； 2、 安装槽； 3、 卡块； 301、 限位槽； 4、 固定孔； 5、 限位兼容块； 501、说　明　书 1/3 页 3 CN 216547443 U 3