(19)中华 人民共和国 国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111629482.3 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人 上海华力微电子有限公司 地址 201315 上海市浦东 新区良腾路6号 (72)发明人 刘欣欣　何瑜　张峰　程杰　 艾伟光　曹心宇　 (74)专利代理 机构 上海思微知识产权代理事务 所(普通合伙) 31237 代理人 周耀君 (51)Int.Cl. G06Q 10/06(2012.01) G06Q 10/10(2012.01) G06F 16/904(2019.01) (54)发明名称 FAB内基于设备作业特性的智能派工方法与 系统 (57)摘要 一种FAB内基于设备作业特性的智能派工方 法， 包括： 获得当站需派工的Lot和设备， 根据设 备特性和Lot特殊需求对机组群所需判定的派工 规则进行命名； 建立规则池， 进一步包括通用规 则和特殊规则； 根据每条规则定义若干项派工规 则项， 并组建优先等级作为常规生产型派工标 准； 根据生产线需求， 构筑目标导向型派工标准， 并定义启动机制； 每台设备派工时检测启动机 制， 根据启动机制自动选择使用标准。 本发明通 过执行规则池建立， 常规生产型派工标准组建， 目标导向型派工标准构筑， 以及派工标准人工智 能化选择不仅可以实时获取设备及Lot信息， 对 设备实时进行派工调度， 提高设备派工时效性与 准确性， 而且降低产品品质风险， 值得业界推广 使用。 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 CN 114298546 A 2022.04.08 CN 114298546 A 1.一种FAB内基于设备作业特性的智能派工系统， 其特征在于， 所述FAB内基于设备作 业特性的智能派工系统， 包括： 信息获取模块， 用于获取晶圆制造单元产品(Lot)及设备作业特性信息， 为逻辑判断模 块进行逻辑判断提供 数据支撑； 逻辑判断模块， 用以实现若干目标导向型派工标准的构筑， 并进一步包括执行规则池 的建立， 常规生产型派工标准组建， 目标导向型派工标准构筑， 以及派工标准人工智能化选 择； 信息输出模块， 为使用所述目标导向型派工标准后生产的派工排 程。 2.如权利要求1所述FAB内基于设备作业特性的智能派工系统， 其特征在于， 所述规则 池进一步包括通用规则和特殊 规则。 3.如权利要求1所述FAB内基于设备作业特性的智能派工系统， 其特征在于， 所述目标 导向型派工标准为Q ‑time目标型管控标准， 产能目标型管控 标准， 出货目标型管控标准， 设 备群组平衡派货目标 型管控标准， 预警目标 型管控标准， 常规 生产型目标 管控标准。 4.如权利要求1所述FAB内基于设备作业特性的智能派工系统， 其特征在于， 所述信息 输出模块包 含派工标准可视化和派工排 程可视化。 5.如权利要求4所述FAB内基于设备作业特性的智能派工系统， 其特征在于， 所述派工 标准可视化进一步包括筛选区， 派工标准管控区， 派工标准设备调用区， 派工规则配置区， 以及管控调试区。 6.如权利要求4所述FAB内基于设备作业特性的智能派工系统， 其特征在于， 所述派工 排程可视化显示每台设备即将派工的排 程。 7.一种如权利要求1所述FAB内基于设备作业特性的智能派工方法， 其特征在于， 所述 FAB内基于设备作业特性的智能派工方法， 包括： 执行步骤S1： 获得当站需派工的晶圆制造单元产品(Lot)和设备， 根据设备特性和晶圆 制造单元产品(L ot)特殊需求对机组群所需判定的派工规则进行命名； 执行步骤S2： 根据已命名的派工规则建立规则池， 所述规则池进一步包括通用规则和 特殊规则； 执行步骤S3： 根据每条规则定义若干项派工规则项， 并组建优先等级作为常规生产型 派工标准； 执行步骤S4： 根据生产线需求， 构筑目标导向型派工标准， 并定义启动机制； 执行步骤S5： 每台设备派工时检测所述启动机制， 根据启动机制自动选择使用标准。 8.如权利要求7所述FAB内基于设备作业特性的智能派工方法， 其特征在于， 根据生产 线需求， 厂房内设备作业特性， 以及产品特殊作业需求， 获得包含72项通用规则， 99项特殊 规则的规则池。 9.如权利要求7所述FAB内基于设备作业特性的智能派工方法， 其特征在于， 根据生产 线需求， 构筑5套目标导向型派工标准， 包括Q ‑time目标型管控标准， 产能 目标型管控标准， 出货目标 型管控标准， 设备群组平衡派货目标 型管控标准， 预警目标 型管控标准。 10.如权利要求7所述FAB内基于设备作业特性的智能派工方法， 其特征在于， 每 台设备 派工时检测6套所述启动机制， 根据启动机制自动选择使用标准。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 114298546 A 2FAB内基于设 备作业特性的智能派工方 法与系统 技术领域 [0001]本发明涉及半导体制造技术领域， 尤其涉及一种FAB内基于设备作业特性的智能 派工方法与系统。 背景技术 [0002]晶圆制造生产线产品众多， 每台设备前等待加工的晶圆制造单元产品(Lot)数量 少则几十卡， 多则上 百卡， 如何实时准确派工决定 了产品能否准时交货。 [0003]现有业界轮叫调度派工是晶圆制造单元产品(Lot)选择设备进行作业， 并且按设 备顺序进行轮叫， 生成派工清单。 设备前一产品作业完成后根据最近的一次派工单进行派 工。 所述轮叫调 度派工方式势必导致派工无法得到实时的信息， 存在派工时效性差， 甚至影 响产品品质的问题。 [0004]另外， 自动派工系统进行派工时， 同种机组群由相同的派工规则形成派工标准对 产品进行派工。 这导致派工标准相对 单一， 无法满足生产线实时变动、 特殊需求、 FAB突 发状 况等， 并且派工规则更改需多部门联合调整， 流 程复杂， 工时长， 开发人员专业 化。 [0005]寻求一种可进行实时性派工， 提高设备派工准确性， 并降低产品品质风险， 解决派 工系统智能化水平低， 调整流程复杂等问题的智能派工方法与系统已成为本领域技术人员 亟待解决的技 术问题之一。 [0006]故针对现有技术存在的问题， 本案设计人凭借从事此行业多年的经验， 积极研究 改良， 于是有了 本发明一种FAB内基于设备作业特性的智能派工方法与系统。 发明内容 [0007]本发明之第一目的是针对现有技术中， 传统轮叫调度派工方式无法得到实时的信 息， 存在派工时效性差， 甚至影响产品品质的问题， 以及现有派工系统智能化水平低， 调整 流程复杂等 缺陷提供一种FAB内基于设备作业特性的智能派工系统。 [0008]本发明之又一目的是针对现有技术中， 传统轮叫调度派工方式无法得到实时的信 息， 存在派工时效性差， 甚至影响产品品质的问题， 以及现有派工系统智能化水平低， 调整 流程复杂等 缺陷提供一种FAB内基于设备作业特性的智能派工方法 之方法。 [0009]为实现本 发明之目的， 本 发明提供一种FAB内基于设备作业特性的智能派工系统， 所述FAB内基于设备作业特性的智能派工系统， 包括： [0010]信息获取模块， 用于 获取晶圆制造单元产品(Lot)及设备作业特性信息， 为逻辑判 断模块进行逻辑判断提供 数据支撑； [0011]逻辑判断模块， 用以实现若干目标导向型派工标准的构筑， 并进一步包括执行规 则池的建立， 常规生产型派工标准组建， 目标导向型派工标准构筑， 以及派工标准人工智能 化选择； [0012]信息输出模块， 为使用所述目标导向型派工标准后生产的派工排 程。 [0013]可选地， 所述 规则池进一 步包括通用规则和特殊 规则。说　明　书 1/6 页 3 CN 114298546 A 3