ICS 29. 045 H 80 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T29057—2012 用区熔拉晶法和光谱分析法评价 多晶硅棒的规程 Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy (SEMIMF1723-1104.MOD) 2012-12-31发布 2013-10-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T29057—2012 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准修改采用国际标准SEMIMF1723-1104《用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规 程》。为方便比较，资料性附录A中列出了本标准章条和对应的国际标准章条的对照一览表。 本标准在采用SEMIMF1723-1104时进行了修改。这些技术差异用垂直单线标识在它们所涉及 的条款的页边空白处。主要技术差异如下： 在“规范性引用文件”中，凡我国已有国家标准的，均用相应的国家标准代替SEMIMF1723- 1104中的“引用文件”。 一增加规范性引用文件GB/T1553《硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法》。 将6.2中“.·ISO14644-1中规定的ISO5级.”改为“GB50073中规定的5级..”。 -将7.2.1中.ISO14644-1中规定的ISO6级.”改为..GB50073中规定的6级….”。 -将7.3.1中“..1×10-torr..”改为"..1.3×10-"Pa..”。 将8.1中“硝酸（HNO：）—符合SEMIC352级”改为"硝酸（HNO）——符合GB/T626优 级纯”。 级纯”。 等于或优于GB/T11446.1中的EW-2级”。 将8.5中“高纯氩气—符合SEMIC3.42”改为“高纯氩气-符合GB/T4842优等品”。 一增加12.5.2.4“按照GB/T1553检测晶棒体内少数载流子寿命。” 将12.6.1中.·根据SEMIMF1391分析碳含量."改为.根据GB/T1558分析碳含量.”。 —将12.6.3.3中按测试方法SEMIMF1391”改为“按测试方法GB/T1558..”。 将13.3.5.1中..·见SEMIMF723..”改为..见GB/T13389..”。 将14.1中“.在SEMIMF1391中..”改为“.在GB/T1558中..” 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位：四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、天威四 川硅业有限责任公司。 本标准主要起草人：梁洪、刘畅、陈自强、张新、蓝志、张华端、瞿芬芬。 I